外延片清洗用到的清洗機(jī)配置得有溢流槽與干燥槽。威固特VGT-1509FH超聲波清洗機(jī)共有15個(gè)功能槽，配置有循環(huán)過濾系統(tǒng)、浸泡系統(tǒng)、自動(dòng)恒溫系統(tǒng)等等；

結(jié)構(gòu)功能：獨(dú)立清洗槽，結(jié)構(gòu)為四面鋸齒型溢流，進(jìn)水口進(jìn)水，溢流到排液口將液體排掉；槽體頂部有加熱管產(chǎn)后熱源，FFU往下吹風(fēng)；

超聲波清洗機(jī)會(huì)通過超聲波發(fā)生器生成超聲波，超聲波是一種高頻聲波，頻率在人類聽覺范圍之外。

VGT-1307FH 紅外窗口超聲波清洗機(jī)為手動(dòng)式超聲波清洗機(jī)，用于光學(xué)件（紅外鏡片，尤以直徑為 20-25 的窗口片為主）等零部件的超聲波清洗。

VGT-1507FS為光學(xué)玻璃超聲波清洗機(jī)，設(shè)備共有15個(gè)功能槽，配置有循環(huán)過濾系統(tǒng)、自動(dòng)恒溫系統(tǒng)、拋動(dòng)系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、抽風(fēng)裝置、溢流系統(tǒng)等。

線性漸變?yōu)V光片超聲波清洗機(jī)設(shè)備優(yōu)勢：

高精度表面清洗濾光片除需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。濾光片表面如果有任何垢點(diǎn)或積水點(diǎn)，最后都將導(dǎo)致鍍膜失敗。